Detector material del defecto superficial del semiconductor
Usos
Para la gestión del control de proceso y de la producción de la máscara en blanco en los campos de la exhibición del semiconductor y
fabricación del microprocesador del circuito integrado, utilizamos tecnologías de prueba ópticas de la alta producción para hacer rápido y
detección automática exacta para los defectos superficiales de la máscara en blanco. Según necesidades de usuario profesionales,
hemos desarrollado serie de alta producción ENMASCARAMOS las máquinas de la inspección con calidad confiable y alto coste
ratio del funcionamiento, ayudar a los fabricantes de cristal del substrato, de la máscara y del panel a identificar y supervisar la máscara
los defectos, reducen el riesgo de producción y mejorar su capacidad independiente del R&D para las tecnologías de base.
Principio de funcionamiento
En lo que respecta a nivel y a tipo de defecto superficial, de la lente telecentric 4x, de luz específica del anillo del ángulo y de luz coaxial
la fuente se selecciona como el acercamiento visual. Cuando el dispositivo está corriendo, la muestra se mueve a lo largo del X
la dirección y el módulo de la visión realiza la detección del defecto a lo largo de la dirección de Y.
Características
| Modelo | SDD0.5-0.5 | |
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Detección del funcionamiento |
Tipo perceptible del defecto | Los rasguños, sacan el polvo |
| Tamaño perceptible del defecto | el 1μm | |
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Exactitud de la detección (medido) |
detección 100% de defectos/colección de defectos (rasguños, polvo) |
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| Eficacia de la detección |
minutos ≤10 (Valor medido: máscara de 350m m x de 300m m) |
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Funcionamiento de sistema óptico |
Resolución | el 1.8μm |
| Ampliación | 40x | |
| Campo de visión | 0.5m m x 0.5m m | |
| Iluminación ligera azul | 460nm, 2.5w | |
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Funcionamiento de la plataforma del movimiento
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X, movimiento con dos ejes de Y Llanura de mármol de la encimera: los 2.5μm precisión del agotamiento de la Z-dirección de Y-AXIS: ≤ el 10.5μm precisión del agotamiento de la Z-dirección de Y-AXIS: ≤8.5μm
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| Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible. | ||
Imágenes de la detección
Nuestras ventajas
Somos fabricante.
Proceso maduro.
Contestación en el plazo de 24 horas de trabajo.
Nuestra certificación del ISO
Partes de nuestras patentes
Partes de nuestros premios y calificaciones del R&D
Nuestros productos se venden en todo el mundo, puede estar seguro de todo el proceso de nuestros productos.
