Deposición atómica de la capa de ALD
Usos
| Usos | Propósito específico | Tipo del material de ALD |
| Dispositivos de MEMS | Grabar al agua fuerte capa de barrera | Al2O3 |
| Capa protectora | Al2O3 | |
| capa de la Anti-vinculación | TiO2 | |
| Capa hidrofóbica | Al2O3 | |
| Capa de enlace | Al2O3 | |
| capa Desgaste-resistente | Al2O3, TiO2 | |
| capa del circuito del Anti-cortocircuito | Al2O3 | |
| Capa de la disipación de la carga | ZnO: Al | |
| Exhibición electroluminiscente | Capa luminosa | ZnS: Manganeso/Er |
| Capa de la estabilización | Al2O3 | |
| Materiales del almacenamiento | Materiales ferroeléctricos | HfO2 |
| Materiales paramagnéticos | Gd2O3, Er2O3,₃del₂OdelDy, Ho2O3 | |
| Acoplamiento no magnético | Ru, Ir | |
| Electrodos | Metales preciosos | |
| Acoplamiento inductivo (ICP) | Capa dieléctrica de la alta-k puerta | HfO2, TiO2, TA2O5,₂deZrO |
| Batería solar del silicio cristalino | Estabilización superficial | Al2O3 |
| Batería de la fino-película de la perovskita | Capa del almacenador intermediario | ZnxMnyO |
| Capa que conduce transparente | ZnO: Al | |
| empaquetado 3D | Por-silicio-Vias (TSVs) | Cu, Ru, lata |
| Uso luminoso | Capa de la estabilización de OLED | Al2O3 |
| Sensores | Capa de la estabilización, materiales de relleno | Al2O3, SiO2 |
| Tratamiento médico | Materiales biocompatibles | Al2O3, TiO2 |
| Capa de la protección contra la corrosión | Capa de la protección contra la corrosión superficial | Al2O3 |
| Batería del combustible | Catalizador | Pinta, paladio, derecho |
| Batería de litio | Capa material de la protección del electrodo | Al2O3 |
| Cabeza de lectura/grabación del disco duro | Capa de la estabilización | Al2O3 |
| Capa decorativa | Película coloreada, película metalizada | Al2O3, TiO2 |
| capa de la Anti-descoloración | Capa de la antioxidación del metal precioso | Al2O3, TiO2 |
| Películas ópticas | Índice de refracción alto-bajo |
MGF2, SiO2, ZnS, TiO2, TA2O5, ZrO2, HfO2 |
Principio de funcionamiento
La deposición atómica de la capa (ALD) es un método de depositar las sustancias en la superficie del substrato en
forma de sola capa atómica de la película por capa. La deposición atómica de la capa es similar a la deposición química común,
pero en curso de deposición atómica de la capa, la reacción química de una nueva capa de película atómica está directamente
asociado a la capa anterior, para depositar solamente una capa de átomos en cada reacción con este método.
Características
| Modelo | ALD1200-500 |
| Sistema de capa de la película | AL2O3, TiO2, ZnO, etc |
| Gama de temperaturas de capa | Temperatura normal a 500℃ (adaptable) |
| Tamaño de capa de la cámara de vacío | Diámetro interno: 1200m m, altura: 500m m (adaptable) |
| Estructura de la cámara de vacío | Según los requisitos de cliente |
| Vacío del fondo | <5> -7mbar |
| Grueso de capa | ≥0.15nm |
| Precisión de control del grueso | ±0.1nm |
| Tamaño de capa | ² del ²/1200×1200 milímetro del ²/400×400m m de 200×200m m, etc |
| Uniformidad del espesor del film | el ≤±0.5% |
| Precursor y gas portador |
Trimetilaluminio, tetracloruro del titanio, cinc dietílico, agua pura, nitrógeno, etc. (₄ HZn del Al, de TiCl4, de C del ₉ del ₃ H de C, H2₂deO, deN, etc.) |
| Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible. | |
Muestras de capa
Pasos de proceso
El → coloca el substrato para cubrir en la cámara de vacío;
→ Vacuumize la cámara de vacío en la temperatura del cielo y tierra, y girar el substrato síncrono;
El → comienza a cubrir: el substrato se entra en contacto con con el precursor en orden y sin la reacción simultánea;
El → lo purga con el gas de gran pureza del nitrógeno después de cada reacción;
La parada del → que gira el substrato después del espesor del film es hasta estándar y la operación de la purga y
el enfriamiento se termina, después toma hacia fuera el substrato después del vacío que rompe condiciones se encuentra.
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