Deposición de la farfulla del magnetrón en campo de capa decorativo
Usos
| Usos | Propósito específico | Tipo material |
| Capa decorativa | Película coloreada, película metalizada | Al2O3, TiO2, ytoda clasedepelículasdelmetal |
Principio de funcionamiento
El magnetrón que farfulla es aumentar tarifa de la farfulla introduciendo un campo magnético en la superficie de la blanco y usar
el campo magnético para obligar a las partículas cargadas que aumenten la densidad del plasma.
Características
| Modelo | MSC-DC-X-X |
| Tipo de capa | Diversas películas dieléctricas tales como óxido de película metálica, de metal y AIN |
| Gama de temperaturas de capa | Temperatura normal a 500℃ |
| Tamaño de capa de la cámara de vacío | 700mm*750mm*700m m (adaptable) |
| Vacío del fondo | < 5="">-7mbar |
| Grueso de capa | ≥ 10nm |
| Precisión de control del grueso | ≤ el ±3% |
| Tamaño de capa máximo | ≥ 100m m (adaptable) |
| Uniformidad del espesor del film | ≤ el ±0.5% |
| Portador del substrato | Con el mecanismo planetario de la rotación |
| Material de blanco | pulgadas 4×4 (compatibles con 4 pulgadas y abajo) |
| Fuente de alimentación | Las fuentes de alimentación tales como DC, pulso, RF, SI y el prejuicio es opcional |
| Gas de proceso | AR, N2, O2 |
| Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible. | |
Muestra de capa
Pasos de proceso
→Place el substrato para cubrir en la cámara de vacío;
El → vacuumize áspero;
El → da vuelta en la bomba molecular, vacuumize a velocidad máxima, después da vuelta en la revolución y la rotación;
→ que calienta la cámara de vacío hasta que la temperatura alcance la blanco;
El → ejecuta el control de la temperatura constante;
El → limpia elementos;
El → gira y de nuevo al origen;
Película de capa del → según requisitos de proceso;
El → bajo temperatura y para el montaje de la bomba después de cubrir;
El → para el trabajar cuando se acaba la operación automática.
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Proceso maduro.
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