Deposición de la farfulla del magnetrón en campo de la capa de la Anti-descoloración
Usos
| Usos | Propósito específico | Tipo material |
| capa de la Anti-descoloración | Capa de la antioxidación del metal precioso | Al2O3, TiO2 |
Principio de funcionamiento
Los electrones chocan continuamente con los átomos del argón en el proceso del movimiento, ionizando un gran número de iones del argón a
bombardee la blanco. Después de colisiones múltiples, la energía de electrones disminuye gradualmente. Los electrones se rompen lejos
de la restricción de la línea de fuerza magnética, guarde lejos de la blanco, y finalmente del depósito en el substrato.
Características
| Modelo | MSC-ADC-X-X |
| Tipo de capa | Diversas películas dieléctricas tales como óxido de película metálica, de metal y AIN |
| Gama de temperaturas de capa | Temperatura normal a 500℃ |
| Tamaño de capa de la cámara de vacío | 700mm*750mm*700m m (adaptable) |
| Vacío del fondo | < 5="">-7mbar |
| Grueso de capa | ≥ 10nm |
| Precisión de control del grueso | ≤ el ±3% |
| Tamaño de capa máximo | ≥ 100m m (adaptable) |
| Uniformidad del espesor del film | ≤ el ±0.5% |
| Portador del substrato | Con el mecanismo planetario de la rotación |
| Material de blanco | pulgadas 4×4 (compatibles con 4 pulgadas y abajo) |
| Fuente de alimentación | Las fuentes de alimentación tales como DC, pulso, RF, SI y el prejuicio es opcional |
| Gas de proceso | AR, N2, O2 |
| Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible. | |
Muestra de capa
Pasos de proceso
El → coloca el substrato para cubrir en la cámara de vacío;
El → vacuumize áspero;
El → da vuelta en la bomba molecular, vacuumize a velocidad máxima, después da vuelta en la revolución y la rotación;
→ que calienta la cámara de vacío hasta que la temperatura alcance la blanco;
El → ejecuta el control de la temperatura constante;
El → limpia elementos;
El → gira y de nuevo al origen;
Película de capa del → según requisitos de proceso;
El → bajo temperatura y para el montaje de la bomba después de cubrir;
El → para el trabajar cuando se acaba la operación automática.
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