Máquina de capa de la farfulla del magnetrón de ZEIT

Máquina de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón
March 14, 2023
El magnetrón de ZEIT que farfulla es una clase de la deposición de vapor física (PVD). Hace el movimiento de los electrones en trayectorias espirales cerca de la superficie de la blanco por la interacción entre los campos magnéticos y eléctricos, así aumentando la probabilidad de los electrones que golpean el gas del argón para generar los iones. Los iones generados después golpean la superficie de la blanco bajo acción del campo eléctrico y farfullan los materiales de blanco a la película fina del deposite en la superficie del substrato. El método general de la farfulla se puede utilizar para la preparación de diversos metales, los semiconductores, los materiales ferromagnéticos, así como los óxidos aislados, cerámica y otras sustancias. El equipo utiliza el sistema de control del panel táctil HMI de PLC+, que puede incorporar parámetros por el interfaz de proceso programable, con las funciones tales como sola blanco que farfulla, farfullando secuencial de objetivos múltiples y co-farfullando.

Como tecnología de capa no-termal en el campo de la microelectrónica, la deposición de la farfulla del magnetrón es ampliamente utilizada en semiconductor, exhibiciones, la grabación magnética, la grabación óptica, batería de la fino-película de la perovskita, tratamiento médico, capa decorativa, capa de la Anti-descoloración, las películas ópticas, película resistente a la luz, película resistente, película, de película magnética superconductores, etc. modificó la producción para requisitos particulares disponible.


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Correo electrónico: hua.du@zeit-group.com
Web: www.optics-equipment.com
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